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随着真空泵使用范围越来越广，了解其相关参数对于之后的生产工作的展开十分重要。1、抽气速率(体积流率)：当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

极限压力(极限真空)：泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的比较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的比较低的稳定的压力。 3、起动压力： 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4、前级压力： 排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。 5、比较大前级压力： 超过了能使泵损坏的前级压力。

比较大工作压力：对应比较大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 抽气量： 流经泵入口的气体流量。 压缩比： 泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使气体分子获得定向运动的速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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氦质谱检漏仪质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。氦质谱检漏仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。

同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵，以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪，并实时监控检漏仪显示漏率。

无论是用于研发的灵活可靠的系统，还是用于常规工业真空加工的热处理系统，或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案，都可提供相应的解决方案。：氦质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别？现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。

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